[发明专利]活性气体生成装置

权利要求书

1.一种活性气体生成装置，生成使供给至放电空间的原料气体活化而得到的活性气体，具备：

第一电极构成部；以及

第二电极构成部，设置在上述第一电极构成部的下方，

上述第一电极构成部具有第一电极用电介质膜以及形成在上述第一电极用电介质膜的上表面上的第一金属电极，上述第二电极构成部具有第二电极用电介质膜以及形成在上述第二电极用电介质膜的下表面上的第二金属电极，上述第一金属电极被施加交流电压，上述第二金属电极被设定为接地电位，在上述第一以及第二电极用电介质膜相对置的电介质空间内，作为上述放电空间而包含上述第一以及第二金属电极在俯视时重叠的区域，

上述第一电极用电介质膜在中央部具有用于将上述原料气体向上述放电空间供给的气体供给口，上述气体供给口设置为在俯视时不与上述第一金属电极重叠，

上述第二电极用电介质膜具有用于将上述活性气体向下方喷出的至少一个气体喷出孔，

上述第一电极构成部还具有在上述第一电极用电介质膜的上表面上与上述第一金属电极相独立地形成的辅助导电膜，

上述放电空间以在俯视时不与上述气体供给口重叠且包围上述气体供给口的方式形成，

上述至少一个气体喷出孔以在俯视时不与上述气体供给口以及上述放电空间重叠、且离上述气体供给口的距离比离上述放电空间的距离远的方式配置，在上述电介质空间中，从上述放电空间到达上述至少一个气体喷出孔的路径被规定为活性气体流通路径，

上述辅助导电膜在俯视时不与上述第一金属电极重叠且包围上述第一金属电极，并且在俯视时与上述活性气体流通路径的一部分重叠，

上述活性气体生成装置还具备与上述辅助导电膜的上表面的一部分接触地设置、且具有导电性的电极辅助部件，

上述辅助导电膜经由上述电极辅助部件而被设定为接地电位。

2.如权利要求1所述的活性气体生成装置，其中，

上述第二电极用电介质膜具有在俯视时沿着外周而上方突出的突出区域，

上述第一以及第二电极用电介质膜以上述第一电极用电介质膜的下表面与上述第二电极用电介质膜的上述突出区域的上表面接触的方式层叠，在上述第一电极用电介质膜的下表面与上述第二电极用电介质膜的上表面之间，作为上述电介质空间而形成有相对于外部被遮断的封闭空间。

3.如权利要求1或2所述的活性气体生成装置，其中，

上述活性气体生成装置还具备：

基底凸缘，设置在上述第二电极构成部的下方，与上述第二金属电极接触而支承上述第二电极构成部，且具有导电性，

上述基底凸缘具有用于将从上述至少一个气体喷出孔喷出的活性气体向下方喷出的至少一个基底凸缘用气体喷出孔，

上述电极辅助部件在与上述基底凸缘电连接的状态下固定于上述基底凸缘，

上述基底凸缘被赋予接地电位。

4.如权利要求3所述的活性气体生成装置，其中，

设置于上述基底凸缘的上述至少一个基底凸缘用气体喷出孔包括多个基底凸缘用气体喷出孔，多个基底凸缘用气体喷出孔在俯视时呈放射状分离配置。