[发明专利]磁传感器及磁传感器的制造方法在审
| 申请号: | 201980080046.X | 申请日: | 2019-10-21 |
| 公开(公告)号: | CN113167840A | 公开(公告)日: | 2021-07-23 |
| 发明(设计)人: | 筱龙德;远藤大三 | 申请(专利权)人: | 昭和电工株式会社 |
| 主分类号: | G01R33/02 | 分类号: | G01R33/02;H01L43/00 |
| 代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 杨宏军;唐峥 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 磁传感器(1)具备非磁性的基板(10)和感应元件(31),所述感应元件(31)具备层叠于基板上的多个软磁体层(105){下层软磁体层(105a)、上层软磁体层(105b)}、以及层叠于多个软磁体层之间且导电性比软磁体层高的导电体层(106),所述感应元件(31)具有长边方向和短边方向,在与长边方向交叉的方向上具有单轴磁各向异性,并通过磁阻抗效应来感应磁场。 | ||
| 搜索关键词: | 传感器 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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