[发明专利]磁传感器及磁传感器的制造方法在审

专利信息
申请号: 201980080046.X 申请日: 2019-10-21
公开(公告)号: CN113167840A 公开(公告)日: 2021-07-23
发明(设计)人: 筱龙德;远藤大三 申请(专利权)人: 昭和电工株式会社
主分类号: G01R33/02 分类号: G01R33/02;H01L43/00
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 杨宏军;唐峥
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 磁传感器(1)具备非磁性的基板(10)和感应元件(31),所述感应元件(31)具备层叠于基板上的多个软磁体层(105){下层软磁体层(105a)、上层软磁体层(105b)}、以及层叠于多个软磁体层之间且导电性比软磁体层高的导电体层(106),所述感应元件(31)具有长边方向和短边方向,在与长边方向交叉的方向上具有单轴磁各向异性,并通过磁阻抗效应来感应磁场。
搜索关键词: 传感器 制造 方法
【主权项】:
暂无信息
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