[发明专利]微装置匣体结构在审
申请号: | 201980075439.1 | 申请日: | 2019-11-18 |
公开(公告)号: | CN113039638A | 公开(公告)日: | 2021-06-25 |
发明(设计)人: | 格拉姆雷扎·查济;埃桑诺拉·法蒂 | 申请(专利权)人: | 维耶尔公司 |
主分类号: | H01L23/535 | 分类号: | H01L23/535;H01L23/28;H01L31/00;H01L33/00 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 张晓媛 |
地址: | 加拿大*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明公开将微装置集成到系统衬底中的结构及方法。此外,本公开还涉及用于增强微装置到衬底中的接合工艺的方法及结构。更具体来说,本公开涉及扩展微装置面积或微装置的接合面积。 | ||
搜索关键词: | 装置 结构 | ||
【主权项】:
暂无信息
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