[发明专利]基板输送装置在审
| 申请号： | 201980071082.X | 申请日： | 2019-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN112930251A | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 开田准一 | 申请（专利权）人： | 平田机工株式会社 |
| 主分类号： | B25J5/02 | 分类号： | B25J5/02;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板输送装置，装置结构紧凑且基板处理的吞吐量高。该基板输送装置具备基板输送模块和设置在该基板输送模块的内部的大气输送机器人，所述大气输送机器人具有相对于所述基板输送模块行进自如的机器人基部。所述基板输送装置还具备基板对准器，该基板对准器设置在所述机器人基部的上部，具有进行基板的朝向的对位的至少两个基板载置台。 | ||
| 搜索关键词： | 输送 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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