[发明专利]基板输送装置

说明书

本发明提供一种基板输送装置，装置结构紧凑且基板处理的吞吐量高。该基板输送装置具备基板输送模块和设置在该基板输送模块的内部的大气输送机器人，所述大气输送机器人具有相对于所述基板输送模块行进自如的机器人基部。所述基板输送装置还具备基板对准器，该基板对准器设置在所述机器人基部的上部，具有进行基板的朝向的对位的至少两个基板载置台。

技术领域

本发明涉及基板输送装置，涉及从收纳基板的容器取出基板并向对基板实施各种处理的处理装置交接的基板输送装置。

本申请对于在2018年12月11日提出申请的特愿2018-231643号主张优先权，并将其内容援引于此。

背景技术

基板输送装置在其内部具备从收纳基板(以下，称为晶片)的容器取出晶片并进行移载及输送的大气输送机器人。大气输送机器人能够沿着行进引导件行进，在其前端具备末端执行器。大气输送机器人通过使其臂单元伸长/弯曲而利用末端执行器取出或重载晶片。在基板输送装置中，由末端执行器取出的晶片向基板对准器交接，通过基板对准器将晶片的朝向调整为规定的朝向，并进行晶片的定心。

这样，进行基于大气输送机器人的晶片的交接和基于基板对准器的晶片的朝向及中心位置的调整(参照专利文献1)。

另外，作为基板输送装置，已知有与大气输送机器人一体地设有保持轴(以下，称为基板对准器)的结构。在该基板输送装置中，通过使大气输送机器人的臂单元伸长/上升，末端执行器前进到盒的晶片取出位置，并将晶片向上方抬起。然后，通过使臂单元弯曲/下降，末端执行器移动到基板对准器的正上方位置，将晶片向基板对准器移载。

这样，通过与大气输送机器人一体地设置基板对准器，不需要为了进行晶片的对准而特意使大气输送机器人行进至基板对准器的位置。因此，与以往相比能够缩短大气输送机器人的移动距离，即能够缩短基板输送装置中的基板处理的循环时间(参照专利文献2)。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009-21504号公报

专利文献2：日本特开平8-255821号公报

发明内容

发明的概要

发明要解决的课题

专利文献1、专利文献2的基板输送装置仅具备一个基板对准器。特别是在专利文献2的情况下，即使利用各个机器人臂取出了基板，也只能一片片地进行基于基板对准器的晶片的对位。因此，在进行一方的机器人臂的晶片的对位期间，另一方的机器人臂的晶片处于待机中，基板对准器成为基板处理的循环时间缩短中的瓶颈。因此，可考虑在基板输送装置设置多个基板对准器，但是相应于设置的个数而装置结构成为大规模。此外，由于近年来的IoT化的进展等，基板处理中的循环时间缩短的要求进一步升高。

本发明是鉴于上述的情况而作出的，其目的在于提供一种装置结构紧凑且基板处理的吞吐量高的基板输送装置。

用于解决课题的方案

本发明的基板输送装置具备基板输送模块和设置在该基板输送模块的内部的大气输送机器人，其中，所述大气输送机器人具有相对于所述基板输送模块行进自如的机器人基部，所述基板输送装置还具备基板对准器，该基板对准器设置在该机器人基部的上部，并具有进行基板的朝向的对位的至少两个基板载置台。

在本发明的基板输送装置中，也可以为，所述大气输送机器人具备：一对臂单元，其旋转自如地被支承于所述机器人基部，并能够伸长、弯曲；末端执行器，其分别设置于一对所述臂单元的前端，上下两层地具有能够载置所述基板的载置部。

在本发明的基板输送装置中，也可以为，所述基板对准器在各个所述基板载置台的上方具备基板临时放置部。