[发明专利]基板输送装置

权利要求书

1.一种基板输送装置，其具备基板输送模块和设置在该基板输送模块的内部的大气输送机器人，其特征在于，

所述大气输送机器人具有相对于所述基板输送模块行进自如的机器人基部，

所述基板输送装置还具备基板对准器，该基板对准器设置在该机器人基部的上部并具有进行基板的朝向的对位的至少两个基板载置台。

2.根据权利要求1所述的基板输送装置，其中，

所述大气输送机器人具备：

一对臂单元，其旋转自如地被支承于所述机器人基部，并能够伸长弯曲；以及

末端执行器，其分别设置于一对所述臂单元的前端，上下两层地具有能够载置所述基板的载置部。

3.根据权利要求2所述的基板输送装置，其中，

所述基板对准器在各个所述基板载置台的上方具备基板临时放置部。

4.根据权利要求3所述的基板输送装置，其中，

所述基板对准器具有：

至少两个基板载置台，其进行基板的朝向的对位；以及

一个基座部，其供这些基板载置台设置。

5.根据权利要求3所述的基板输送装置，其中，

所述基板对准器包括至少两台，

各个所述基板对准器具有：

基板载置台，其进行基板的朝向的对位；以及

基座部，其供该基板载置台设置。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的基板输送装置，其中，

所述基板输送装置还具备与所述基板输送模块连接的俯视观察呈多边形的装载锁定腔室，

所述装载锁定腔室在与所述基板输送模块连接的面以及与该连接的面相邻的面上分别具有搬入或搬出所述基板的开口部。

7.根据权利要求6所述的基板输送装置，其中，

在所述基板输送模块连接两个所述装载锁定腔室，

两个所述装载锁定腔室以所述相邻的面彼此对置的方式设置，在对置的相邻面分别设置所述开口部。