[发明专利]物质检测元件在审
| 申请号： | 201980063403.1 | 申请日： | 2019-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN112840197A | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 绪方健治;黑木省吾 | 申请（专利权）人： | 爱沛股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N5/02 | 分类号： | G01N5/02;H01L41/047;H01L41/053;H01L41/113 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在支承基板(2)设有贯通孔(3)。板状的梁(4)以堵塞贯通孔(3)的局部的方式从贯通孔(3)的边缘朝向相对的边缘延伸，在梁(4)设有压电元件。驱动电极(16)用于对压电元件施加电压而使梁(4)进行振动。检测电极(17A、17B)用于对与梁(4)的振动频率相关的信息进行检测。物质吸附膜(5A、5B)通过物质附着而使梁(4)的振动频率发生变化。物质吸附膜(5A、5B)和检测电极(17A、17B)设在梁(4)的正面和背面的相同的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 物质 检测 元件 | ||
【主权项】：
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