[发明专利]物质检测元件

说明书

在支承基板(2)设有贯通孔(3)。板状的梁(4)以堵塞贯通孔(3)的局部的方式从贯通孔(3)的边缘朝向相对的边缘延伸，在梁(4)设有压电元件。驱动电极(16)用于对压电元件施加电压而使梁(4)进行振动。检测电极(17A、17B)用于对与梁(4)的振动频率相关的信息进行检测。物质吸附膜(5A、5B)通过物质附着而使梁(4)的振动频率发生变化。物质吸附膜(5A、5B)和检测电极(17A、17B)设在梁(4)的正面和背面的相同的位置。

技术领域

本发明涉及一种物质检测元件。

背景技术

在专利文献1中公开了基于在物质吸附或者脱离时所产生的振子的共振频率的变化量来识别物质的化学传感器设备。该化学传感器设备具备显示不同物质的脱离吸附特性的多个振子，各个振子具有压电基板。多个振子在被施加交流电压时会因压电基板变形而被励振。通过对共振频率发生了变化的振子进行确认，从而能够识别物质。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009－204584号公报

发明内容

发明要解决的问题

在上述专利文献1所公开的化学传感器设备中，仅是多个振子简单地二维排列在平板上，并没有以使各振子易于吸附空气中所含有的物质的方式高效地进行配置。在这样的结构中，也存在平板自身遮挡气流的流动而导致各振子的吸附物质的吸附效率下降的可能性。

本发明是鉴于上述实际情况而完成的，其目的在于提供一种能够更有效地检测物质的物质检测元件。

用于解决问题的方案

为了达到上述目的，本发明的第1观点的物质检测元件包括：

支承基板，其设有贯通孔；

板状的梁，其设有压电元件，该梁以堵塞所述贯通孔的局部的方式从所述贯通孔的边缘朝向相对的边缘延伸；

驱动电极，其用于对所述压电元件施加电压而使所述梁进行振动；

检测电极，其用于对与所述梁的振动频率相关的信息进行检测；以及

物质吸附膜，通过使物质附着于该物质吸附膜而使所述梁的振动频率发生变化，

所述物质吸附膜和所述检测电极设在所述梁的正面和背面的相同的位置。

在该情况下，也可以是，所述梁在至少两个部位处固定于所述贯通孔的边缘，

在所述梁设有多个在所述梁的正面和背面的相同的位置设置的所述物质吸附膜和所述检测电极的组，

所述物质吸附膜吸附的物质在各所述组中均不同。

也可以是，所述梁在其长度方向的两端处固定于所述贯通孔的边缘，

在从所述梁的中央观察时，在所述梁的两侧设有在所述梁的正面和背面的相同的位置设置的所述物质吸附膜和所述检测电极的组。

也可以是，所述驱动电极设在所述梁的两端。

也可以是，所述驱动电极设在所述梁的中央。

也可以是，所述梁由在长度方向的两端处固定于所述贯通孔的边缘的第1梁和在长度方向的两端处固定于所述贯通孔的边缘并且与所述第1梁交叉的第2梁形成。

也可以是，在从所述第1梁与所述第2梁交叉的部分观察时，在所述第2梁的两侧设有在所述梁的正面和背面的相同的位置设置的所述物质吸附膜和所述检测电极的组。