[发明专利]物质检测元件

权利要求书

1.一种物质检测元件，其中，

该物质检测元件包括：

支承基板，其设有贯通孔；

板状的梁，其设有压电元件，该梁以堵塞所述贯通孔的局部的方式从所述贯通孔的边缘朝向相对的边缘延伸；

驱动电极，其用于对所述压电元件施加电压而使所述梁进行振动；

检测电极，其用于对与所述梁的振动频率相关的信息进行检测；以及

物质吸附膜，通过使物质附着于该物质吸附膜而使所述梁的振动频率发生变化，

所述物质吸附膜和所述检测电极设在所述梁的正面和背面的相同的位置。

2.根据权利要求1所述的物质检测元件，其中，

所述梁在至少两个部位处固定于所述贯通孔的边缘，

在所述梁设有多个在所述梁的正面和背面的相同的位置设置的所述物质吸附膜和所述检测电极的组，

所述物质吸附膜吸附的物质在各所述组中均不同。

3.根据权利要求2所述的物质检测元件，其中，

所述梁在其长度方向的两端处固定于所述贯通孔的边缘，

在从所述梁的中央观察时，在所述梁的两侧设有在所述梁的正面和背面的相同的位置设置的所述物质吸附膜和所述检测电极的组。

4.根据权利要求3所述的物质检测元件，其中，

所述驱动电极设在所述梁的两端。

5.根据权利要求3所述的物质检测元件，其中，

所述驱动电极设在所述梁的中央。

6.根据权利要求2所述的物质检测元件，其中，

所述梁由在长度方向的两端处固定于所述贯通孔的边缘的第1梁和在长度方向的两端处固定于所述贯通孔的边缘并且与所述第1梁交叉的第2梁形成。

7.根据权利要求6所述的物质检测元件，其中，

在从所述第1梁与所述第2梁交叉的部分观察时，在所述第2梁的两侧设有在所述梁的正面和背面的相同的位置设置的所述物质吸附膜和所述检测电极的组。

8.根据权利要求6或7所述的物质检测元件，其中，

在从所述第1梁与所述第2梁交叉的部分观察时，在所述第1梁的两侧设有在所述梁的正面和背面的相同的位置设置的所述物质吸附膜和所述检测电极的组。

9.根据权利要求7或8所述的物质检测元件，其中，

所述驱动电极设在所述第1梁的两端。

10.根据权利要求7或8所述的物质检测元件，其中，

所述驱动电极设在所述第1梁与所述第2梁交叉的部分。

11.根据权利要求6～10中任一项所述的物质检测元件，其中，

所述第1梁的宽度设定为比所述第2梁的宽度宽。

12.根据权利要求6～11中任一项所述的物质检测元件，其中，

所述第1梁与所述第2梁正交。

13.根据权利要求1～12中任一项所述的物质检测元件，其中，

所述驱动电极使所述梁进行振动而使附着于所述物质吸附膜的物质脱离。

14.根据权利要求13所述的物质检测元件，其中，

所述驱动电极使所述梁在所述物质吸附膜的膜厚方向上进行振动。

15.一种物质检测元件，其中，

该物质检测元件包括：

支承基板；

板状的梁，其设有压电元件，该梁的至少一端支承于所述支承基板；

驱动电极，其用于对所述压电元件施加电压而使所述梁进行振动；以及

物质吸附膜，其设于所述梁，通过使物质附着于该物质吸附膜而使所述梁的振动频率发生变化，

所述驱动电极使所述梁进行振动而使附着于所述物质吸附膜的物质脱离。

16.根据权利要求15所述的物质检测元件，其中，

所述驱动电极使所述梁在所述物质吸附膜的膜厚方向上进行振动。