[发明专利]具有自动检查机构的MEMS显示装置在审
| 申请号： | 201980061849.0 | 申请日： | 2019-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN112739643A | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 房雄·石井;维克托·斯通;鸟俊孝 | 申请（专利权）人： | 依格耐特有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;H01H50/00;H01H1/00;G01R31/26;G01R31/27;G01N21/88 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 熊永强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 微电子机械系统(MEMS)装置包括：基板；安装在所述基板上的电子电路；安装在所述基板上的可移动元件，其中通过所述电子电路施加工作电压来控制所述可移动元件的运动；安装在所述基板上的止动件，其中通过所述止动件与所述可移动元件的机械接触来阻止所述可移动元件的运动；和自动检查机构，所述自动检查机构在所述可移动元件和所述止动件之间施加测试电压并确定是否存在泄漏电流。所述自动检查机构至少部分地安装在所述基板上。所述测试电压低于所述工作电压。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 自动 检查 机构 mems 显示装置 | ||
【主权项】：
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