[发明专利]具有自动检查机构的MEMS显示装置

权利要求书

1.一种微电子机械系统(MEMS)装置，包括：

基板；

安装在所述基板上的电子电路；

安装在所述基板上的可移动元件，其中通过所述电子电路施加工作电压来控制所述可移动元件的运动；

安装在所述基板上的止动件，其中通过所述止动件与所述可移动元件的机械接触来阻止所述可移动元件的运动；和

自动检查机构，所述自动检查机构至少部分地安装在所述基板上，所述自动检查机构在所述可移动元件与所述止动件之间施加测试电压并确定是否存在泄漏电流。

2.根据权利要求1所述的MEMS装置，其中，所述可移动元件是安装在铰链上的反射镜，并且所述反射镜的面向所述止动件的背面具有光吸收涂层。

3.根据权利要求1或2所述的MEMS装置，其中，在所述自动检查机构施加所述测试电压之前，所述止动件和所述可移动元件被电隔离。

4.根据权利要求1或2所述的MEMS装置，还包括：

在所述可移动元件和所述自动检查机构之间的绝缘层。

5.根据权利要求4所述的MEMS装置，其中，所述绝缘层由硅、氧化铝或氮化铝中的至少一种制成。

6.根据权利要求4所述的MEMS装置，其中，所述绝缘层包括使所述绝缘层上方的部件与所述自动检查机构连接的通孔。

7.根据权利要求1或2所述的MEMS装置，其中，所述止动件由钨、铜、硅、钛或氮化钛中的至少一种制成。

8.根据权利要求1或2所述的MEMS装置，其中，所述可移动元件是安装在铰链上的反射镜，并且所述止动件与所述铰链之间的距离小于所述铰链与所述反射镜的外周边缘之间的距离的一半。

9.根据权利要求1或2所述的MEMS装置，其中，所述止动件的材料的屈服强度大于当所述可移动元件接触所述止动件时施加到所述可移动元件的应力。

10.根据权利要求1或2所述的MEMS装置，其中，所述止动件的横截面形状为正方形、圆形、三角形、菱形或双三角形。

11.根据权利要求1或2所述的MEMS装置，其中，所述自动检查机构连续地或周期性地测量所述泄漏电流。

12.根据权利要求1或2所述的MEMS装置，其中，所述自动检查机构测量所述泄漏电流的波动。

13.根据权利要求1或2所述的MEMS装置，其中，所述自动检查机构测量所述泄漏电流的绝对值。

14.一种微电子机械系统(MEMS)装置，包括：

基板；

安装在所述基板上的多个电子电路；

安装在所述基板上的多个可移动元件，所述多个可移动元件排列成阵列，其中通过所述多个电子电路中相应的电子电路施加工作电压来分别控制每个所述可移动元件的运动；

安装在所述基板上的多个止动件，所述多个止动件中的每个止动件与相应的可移动元件相关联，以通过所述止动件与所述可移动元件的机械接触来阻止所述可移动元件的运动；和

自动检查机构，所述自动检查机构至少部分地安装在所述基板上，所述自动检查机构在所述多个可移动元件中的至少一个与相关联的止动件之间施加测试电压并确定是否存在泄漏电流。

15.根据权利要求14所述的MEMS装置，其中，所述自动检查机构包括：

施加所述测试电压的电压源；

测量泄漏电流值的安培表；和

多个迹线，所述多个迹线以阵列的形式布置在所述基板上并连接至所述电压源和所述安培表，其中，所述多个可移动元件和所述多个止动件电连接至所述多个迹线。