[发明专利]具有自动检查机构的MEMS显示装置

说明书

微电子机械系统(MEMS)装置包括：基板；安装在所述基板上的电子电路；安装在所述基板上的可移动元件，其中通过所述电子电路施加工作电压来控制所述可移动元件的运动；安装在所述基板上的止动件，其中通过所述止动件与所述可移动元件的机械接触来阻止所述可移动元件的运动；和自动检查机构，所述自动检查机构在所述可移动元件和所述止动件之间施加测试电压并确定是否存在泄漏电流。所述自动检查机构至少部分地安装在所述基板上。所述测试电压低于所述工作电压。

相关申请

本申请要求于2018年9月20日提交的美国临时专利申请62/733,782的优先权和权益，其全部公开内容通过引用合并于本文。

技术领域

本发明涉及具有检查系统的微电子机械系统(MEMS)显示装置，该检查系统检查MEMS显示装置的像素阵列。

背景技术

显示设备近来通常需要大量的像素，例如高清电视(HDTV)需要200万像素，而所谓的4K显示器甚至需要800万像素。然而，正是因为存在大量像素使得难以检查这些设备中每个像素是否正常工作。目前已经开发了视觉检查系统。但是，它们不一定有效，因为这样的检查系统需要暗室和高分辨率视觉系统、复杂的软件、人工检查员最终的视觉检查来操作该系统。

发明内容

本发明可使得显示装置能够被自动测试。可以在显示设备中内置自检机构，以提供缺陷像素的确切地址。这样的地址对于提高产量非常有用。

MEMS装置(例如MEMS显示装置)包括：基板；在所述基板上的电子电路；在所述基板上的可移动元件，其中通过所述电子电路施加工作电压来控制所述可移动元件的运动；止动件，其中通过所述止动件与所述可移动元件的机械接触来阻止所述可移动元件的运动；和自动检查机构，所述自动检查机构在所述可移动元件与所述止动件之间施加测试电压并确定是否存在泄漏电流。可移动元件可以包括作为显示器的像素的反射镜元件。

下文将更详细地描述该MEMS装置和其他MEMS装置的变化。

附图说明

结合附图和以下详细描述可以最好地理解本发明。要强调的是，根据惯例，附图的各个特征未按比例绘制。相反，为了清楚起见，各个特征的尺寸被任意地扩大或缩小。此外，除非另外指出，否则相似的参考标记指代相似的元件。

图1是可以在根据第一实施例的显示装置中使用的MEMS装置的截面图。

图2是图1中的MEMS装置的反射镜偏转到ON状态时的截面图。

图3是可以在根据第二实施例的显示装置中使用的MEMS装置的截面图。

图4是可以在根据第三实施例的显示装置中使用的MEMS装置的简化透视图。

图5是图4中的MEMS装置的反射镜偏转到ON状态时的简化侧视图。

图6是可以在根据第四实施例的显示装置中使用的MEMS装置的简化侧视图，其中MEMS装置的反射镜偏转到ON状态。

图7的电路图示出了连接到布置在显示装置阵列中的MEMS装置的反射镜和止动件的迹线阵列。

图8示出了可以根据本文的教导使用的止动件的横截面图的示例。

详细描述

图1和图2示出了本公开的第一实施例中的MEMS装置101的截面图。这些附图和本文中的其他附图用于描述根据本公开的MEMS装置的单个可移动元件。然而，本文描述的MEMS装置可包括多个可移动元件。例如，在可移动元件是反射镜使得MEMS装置用于显示装置的情况下，在一些实施方式中，MEMS装置可以包括数百万个反射镜(例如，以阵列布置)。MEMS装置101或其反射镜/反射镜元件在本文中也可以被称为显示装置的微镜或像素。