[发明专利]质量分析装置及质量分析方法在审
| 申请号： | 201980050199.X | 申请日： | 2019-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN112514028A | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 桥本雄一郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J49/26 | 分类号： | H01J49/26;G01N30/72;H01J49/10 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 殷明;俞丹 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明实现廉价且能获得高精度的定量结果的质量分析装置。小区间测量指令部(101)指令检测器(9)在信道(4)中的多个小区间(5)中实施测量，将由检测器(9)检测到的信号存储在数据存储部(102)中，利用小区间信号量累计部(103)对信号进行累计，利用信号偏差计算部(104)计算所累计的信号的偏差。信号偏差评价部(105)评价每个小区间5的信号在同一信道4中的信号偏差。在评价为稳定时，动作控制部(106)控制离子源(6)的动作，以无警告的方式直接继续测量。在评价为不稳定时，在测量中或测量后实施警告。 | ||
| 搜索关键词： | 质量 分析 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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