[发明专利]动态成像系统在审
| 申请号： | 201980044400.3 | 申请日： | 2019-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN112368646A | 公开（公告）日： | 2021-02-12 |
| 发明（设计）人： | 陈庆昌;赖建华;陈韦仲;郭士豪;王修仁 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 所描述的实施方式提供了动态成像系统，所述动态成像系统补偿了由于基板的翘曲引起的变形而导致的图案缺陷。所描述的方法和设备可用于产生补偿曝光图案。动态成像系统包括检查系统，检查系统被配置为将第一基板的三维轮廓测量及裸片偏移测量提供给接口，所述接口被配置为向数字光刻系统提供补偿图案数据，数字光刻系统被配置为从接口接收补偿图案数据，并利用补偿图案曝光光刻胶。 | ||
| 搜索关键词： | 动态 成像 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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