[发明专利]共聚物和正型抗蚀剂组合物有效
| 申请号： | 201980043582.2 | 申请日： | 2019-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN112368308B | 公开（公告）日： | 2023-01-13 |
| 发明（设计）人： | 星野学 | 申请（专利权）人： | 日本瑞翁株式会社 |
| 主分类号： | C08F220/22 | 分类号： | C08F220/22;G03F7/039 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 杨卫萍;刘继富 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供一种能够作为耐热性优异、且能够形成分辨率和清晰度优异的抗蚀剂图案的主链切断型的正型抗蚀剂而良好地使用的共聚物。该共聚物具有下述式(I)所表示的单体单元(A)和下述式(II)所表示的单体单元(B)，该共聚物的分子量分布为1.7以下。另外，式中，L为单键或2价的连结基团，Ar为能够具有取代基的芳香环基，R |
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| 搜索关键词： | 共聚物 正型抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
暂无信息
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