[发明专利]共聚物和正型抗蚀剂组合物有效
| 申请号： | 201980043582.2 | 申请日： | 2019-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN112368308B | 公开（公告）日： | 2023-01-13 |
| 发明（设计）人： | 星野学 | 申请（专利权）人： | 日本瑞翁株式会社 |
| 主分类号： | C08F220/22 | 分类号： | C08F220/22;G03F7/039 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 杨卫萍;刘继富 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 共聚物 正型抗蚀剂 组合 | ||
【权利要求书】：
1.一种共聚物，其具有下述式(I)所表示的单体单元(A)和下述式(II)所表示的单体单元(B)，所述共聚物的分子量分布为1.7以下，
式(I)中，L为具有选自氟原子、氟烷基、氰基及硝基中的至少1种吸电子基的2价的连结基团，Ar为能够具有取代基的芳香环基，
式(II)中，R1为烷基，R2为烷基、卤素原子或卤代烷基，p为0以上且5以下的整数，在存在多个R2的情况下，它们彼此能够相同、也能够不同。
2.根据权利要求1所述的共聚物，其中，所述L为具有选自氟原子、氟烷基、氰基及硝基中的至少1种吸电子基作为取代基的亚烷基。
3.一种共聚物，其具有：α-氯丙烯酸-1-苯基-1-三氟甲基-2,2,2-三氟乙酯单元或α-氯丙烯酸苄酯单元，以及，
α-甲基苯乙烯单元或4-氟-α-甲基苯乙烯单元，
所述共聚物的分子量分布为1.7以下。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的共聚物，其重均分子量为80000以下。
5.一种正型抗蚀剂组合物，其包含溶剂和权利要求1～4中任一项所述的共聚物。
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