[发明专利]膜厚测定装置及校正方法有效
| 申请号： | 201980041067.0 | 申请日： | 2019-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN112334731B | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 梅原康敏 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 吕琳;朴秀玉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 根据本公开的一个实施方式的膜厚测定装置包括：第一计算部，计算膜厚已知的第一晶圆的基准位置处的基准反射光谱信号与基准位置以外的各位置处的反射光谱信号之间的各相对反射率；确定部，确定由所述第一计算部计算出的各相对反射率与所述第一晶圆的各位置与所述聚光探针之间的各距离数据之间的关系；第二计算部，基于由所述确定部确定出的关系，计算与测定对象的第二晶圆的各位置与所述聚光探针之间的各距离数据相对应的各相对反射率；以及校正部，在计算所述第二晶圆的各位置处的膜厚时，基于由所述第二计算部计算出的各相对反射率，对所述基准反射光谱信号进行校正。 | ||
| 搜索关键词： | 测定 装置 校正 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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