[发明专利]用于接收具有规则等离子沉积的晶片的等离子舟在审
| 申请号： | 201980039821.7 | 申请日： | 2019-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN112313360A | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | T·科恩迈尔 | 申请（专利权）人： | 尼邦科恩迈尔特种石墨集团有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C16/458;C23C16/50;H01L21/673 |
| 代理公司： | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 | 代理人： | 金辉 |
| 地址： | 德国温*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于接收具有部分等离子体沉积衰减的晶片的等离子舟，其由多个彼此平行间隔开的舟板组成，所述舟板设有用于垂直接收晶片的晶片接收器，以便在运输过程中以及在涂覆室内的沉积过程中牢固地保持晶片，并且，其中所述舟板通过电绝缘间隔件彼此机械连接。本发明旨在提供一种具有规则的等离子体沉积的等离子舟，所述等离子舟确保在晶片上的沉积在其表面积上是均匀的并且具有恒定的层厚。这是通过将衰减元件(12)分别布置在彼此平行定位的晶片保持器(16)之间，以及相邻的舟皿板(15)之间，并且将衰减元件(12)相对于后者在间隔元件(2)上进行电绝缘来实现的。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 接收 具有 规则 等离子 沉积 晶片 | ||
【主权项】：
暂无信息
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