[发明专利]用于接收具有规则等离子沉积的晶片的等离子舟

权利要求书

1.一种等离子舟，其用于接收具有部分等离子体沉积衰减的晶片，所述等离子舟由多个彼此平行且彼此间隔设置的舟板组成，所述舟板设有用于垂直接收晶片的晶片接收器，以便在运输过程中以及在涂覆室内的沉积过程中牢固地保持晶片，所述舟板通过电绝缘间隔件彼此机械连接，其特征在于，在彼此平行定位的晶片接收器(16)之间，衰减元件(12)分别设置在相邻的舟板(15)之间，同时与舟板(15)电绝缘。

2.根据权利要求1所述的等离子舟，其特征在于，衰减元件(16)设置在两个相邻的舟板(15)之间的绝缘间隔元件(2)之上或之间。

3.根据权利要求1和2所述的等离子舟，其特征在于，衰减元件(16)分别由下部框架元件(4)和两个竖直杆(13)组成，两个竖直杆(13)从下部框架元件(4)彼此相距一定距离地突出并且分别延伸到两个彼此平行定位的晶片接收器(16)之间的间隙中。

4.根据权利要求3所述的等离子舟，其特征在于，衰减元件(16)分别覆盖大致对应于位于晶片接收器(16)中的晶片(1)的下半部分。

5.根据权利要求3所述的等离子舟，其特征在于，衰减元件(12)的杆(13)和下部框架元件(4)围成一个区域，所述区域对应于大于或等于装配在晶片接收器(16)中的晶片(1)的下半部分的轮廓。

6.根据权利要求3所述的等离子舟，其特征在于，杆(13)和下部框架元件(4)包围的面积小于装配在晶片接收器(16)中的晶片(1)的下半部分的轮廓。

7.根据权利要求2所述的等离子舟，其特征在于，衰减元件(12)设置为具有大面积的板，其覆盖晶片(1)的下部区域，即，覆盖位于晶片接收器(16)中的晶片(1)的轮廓的大约三分之一或二分之一。

8.根据权利要求7所述的等离子舟，其特征在于，将呈板形的衰减元件(12)以弧形嵌入凹处，使得仅覆盖位于晶片接收器(16)中的晶片(1)的下部和侧向边缘区域。

9.根据权利要求1-8之一所述的等离子舟，其特征在于，衰减元件(12)由陶器、瓷器、石墨、金属组成。