[发明专利]开环控制的无接触支撑平台有效

专利信息
申请号: 201980038519.X 申请日: 2019-06-06
公开(公告)号: CN112236379B 公开(公告)日: 2022-10-11
发明(设计)人: 埃里克·乔伊;博阿茨·尼施利;罗宁·劳特曼 申请(专利权)人: 科福罗有限公司
主分类号: B65G49/06 分类号: B65G49/06;B65G51/03
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 石磊
地址: 以色列达*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种开环控制的无接触支撑平台,包括:表面,通过流动穿过多个嘴件的流体的流体承载来支撑工件;供给系统,连接到表面并且构造为通过施加压力以使流体从多个嘴件的子集中流出,从而保持流体承载;以及控制器,使用开环回路控制供给系统中的流体流,以当工件在无接触支撑平台上移动时支撑工件,其中,可基于所述工件的参数组中的至少一个参数来控制流体流,该工件的参数组包括:当工件由表面支撑时工件的位置、工件的尺寸和工件的速度。
搜索关键词: 开环 控制 接触 支撑 平台
【主权项】:
暂无信息
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