[发明专利]粒子束设备有效
| 申请号： | 201980035788.0 | 申请日： | 2019-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN112166383B | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | D·H·C·范班宁;J·G·戈森 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 胡良均 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种设备包括：用于封闭物品支撑件的真空腔；物品支撑件被配置为支撑物品使得在物品支撑件与物品之间限定有体积，物品支撑件包括被配置为为物品提供支撑平面的多个支撑突起；用于向该体积提供流体使得流体在物品与物品支撑件之间提供热传递的管路；以及用于控制向该体积的流体供应的控制器，其中控制器被配置为控制流体供应单元基本上在物品达到稳定温度时开始去除流体。 | ||
| 搜索关键词： | 粒子束 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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