[发明专利]估计衬底的参数有效
| 申请号： | 201980031932.3 | 申请日： | 2019-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN112136082B | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | S·P·马托瓦;J·S·维尔登贝尔格;R·沃克曼;L·罗曼 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 胡良均 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于跨衬底上的区域估计参数的方法，该区域被划分为多个子区域，该方法包括：获得针对多个子区域中至少两个子区域的参数的值；以及通过评估将参数的值作为输入值的函数，来估计针对区域上的位置的参数，其中a)函数包括分段定义的基函数，其中跨子区域定义单个基函数；以及b)函数在包含于区域内的至少两个子区域的一个或多个相邻子区域之间是连续的。 | ||
| 搜索关键词： | 估计 衬底 参数 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASML荷兰有限公司，未经ASML荷兰有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980031932.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：化学机械平坦化垫的修整器及其相关方法
- 下一篇：空气压缩机的热结构
