[发明专利]估计衬底的参数

权利要求书

1.一种用于跨衬底上的区域估计参数的方法，所述区域被划分为多个子区域，所述方法包括：

获得针对所述多个子区域中至少两个子区域的所述参数的值；以及

通过对将所述参数的所述值作为输入值的函数的评估，来针对所述区域内的位置估计所述参数，其中

a)所述函数包括分段定义的基函数，其中跨子区域定义每个基函数；并且

b)所述函数在至少两个相邻子区域之间是连续的。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述区域的所述多个子区域形成矩形网格。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述多个子区域中的一个或多个子区域基本上与所述衬底上的一个或多个管芯或场重合。

4.根据权利要求1所述的方法，其中每个子区域获得所述参数的至少一个值。

5.根据权利要求1所述的方法，其中至少针对一个子区域，不获得所述参数的值。

6.根据权利要求1所述的方法，其中至少针对一个子区域，不评估所述函数。

7.根据权利要求1所述的方法，其中所述函数形成样条函数的一部分。

8.根据权利要求1所述的方法，其中所述函数由一个或多个非均匀有理基础样条组成。

9.根据权利要求1所述的方法，还包括确定与所述区域相关联的所述参数的测量次数，以及基于所述测量次数来确定所述函数的阶。

10.根据权利要求1所述的方法，其中跨区域估计所述参数包括：

基于所述函数的不同阶来确定所述参数的多个临时估计；以及

基于所述临时估计的性能指示器，选择所述临时估计中的一个临时估计作为所述参数的估计。

11.根据权利要求10所述的方法，其中所述性能指示器基于所述临时估计的最小值和/或最大值。

12.一种非暂时性计算机程序载体，包括指令，所述指令在至少一个处理器上被执行时引起所述至少一个处理器控制设备以执行根据权利要求1所述的方法。

13.一种用于跨衬底上的区域估计参数的设备，所述区域被划分为多个子区域，所述设备包括处理器，所述处理器被配置成执行计算机程序代码以执行方法，所述方法包括：

获得针对所述多个子区域中至少两个子区域的所述参数的值；以及

通过对将所述参数的所述值作为输入值的函数的评估，来针对所述区域内的位置估计所述参数，其特征在于，

a)所述函数包括分段定义的基函数，其中跨子区域定义单个基函数；并且

b)所述函数在被包含于所述区域内的所述至少两个子区域中的一个或多个相邻子区域之间是连续的。

14.一种用于跨衬底上的区域估计参数的量测系统，包括根据权利要求13所述的设备。

15.一种光刻系统，包括根据权利要求14所述的量测系统。