[发明专利]层叠膜及Ag合金溅射靶在审
| 申请号： | 201980031436.8 | 申请日： | 2019-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN112119179A | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 岁森悠人;野中庄平 | 申请（专利权）人： | 三菱综合材料株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;H01B5/14;B32B15/01;C22C5/06;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 刁兴利;康泉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种层叠膜(10)，其具备Ag合金膜(11)及层叠于该Ag合金膜(11)的一面或两面的透明导电氧化物膜(12)，其中，Ag合金膜(11)的组成为包含5.0原子％以上且13.0原子％以下的范围内的Ge，且剩余部分为Ag及不可避免的杂质，Ag合金膜(11)的膜厚在3nm以上且10nm以下的范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 层叠 ag 合金 溅射 | ||
【主权项】：
暂无信息
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