[发明专利]层叠膜及Ag合金溅射靶在审
申请号: | 201980031436.8 | 申请日: | 2019-05-17 |
公开(公告)号: | CN112119179A | 公开(公告)日: | 2020-12-22 |
发明(设计)人: | 岁森悠人;野中庄平 | 申请(专利权)人: | 三菱综合材料株式会社 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;H01B5/14;B32B15/01;C22C5/06;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/14 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人: | 刁兴利;康泉 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种层叠膜(10),其具备Ag合金膜(11)及层叠于该Ag合金膜(11)的一面或两面的透明导电氧化物膜(12),其中,Ag合金膜(11)的组成为包含5.0原子%以上且13.0原子%以下的范围内的Ge,且剩余部分为Ag及不可避免的杂质,Ag合金膜(11)的膜厚在3nm以上且10nm以下的范围内。 | ||
搜索关键词: | 层叠 ag 合金 溅射 | ||
【主权项】:
暂无信息
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