[发明专利]气动支撑装置和具备气动支撑装置的光刻设备

摘要

本发明提供一种用于光刻设备的气动支撑装置和具备这种支撑装置的光刻设备。所述支撑装置包括气弹簧。所述气弹簧包括悬挂部件、被悬挂部件和压力腔室，所述压力腔室被配置用于相对于所述悬挂部件支撑所述被悬挂部件。所述支撑装置还包括被配置成用于相对于所述悬挂部件定位所述被悬挂部件的致动器、被配置用于产生表示所述悬挂部件的加速度的第一传感器信号的加速度传感器、被配置用于产生表示所述压力腔室中的压力的第二传感器信号的压力传感器。所述控制单元被配置成：接收第一传感器信号、接收第二传感器信号、在低通滤波器中对所述第一传感器信号进行滤波、在高通滤波器中对所述第二传感器信号进行滤波、基于经滤波的第一传感器信号和经滤波的第二传感器信号来确定由所述悬挂部件对所述被悬挂部件施加的力以及基于所述力产生针对所述致动器的控制信号。