[发明专利]用于大型活动区域的高速检测器的像素形状和分区形状选择在审
| 申请号： | 201980026865.6 | 申请日： | 2019-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN111989761A | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 王勇新;董仲华 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01L27/146 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了检测器和检测系统。根据某些实施例，一种检测器包括衬底，该衬底包括多个感测元件，该多个感测元件包括第一感测元件(402)和第二感测元件(403)，其中至少第一感测元件形成为三角形形状。检测器可以包括切换区域(4009A)，该切换区域配置为连接第一感测元件和第二感测元件。还可以提供多个分区，该多个分区包括将第一多个感测元件连接到第一输出的第一分区和将第二多个感测元件连接到第二输出的第二分区。该多个分区可以以六边形形状来设置。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 大型活动 区域 高速 检测器 像素 形状 分区 选择 | ||
【主权项】：
暂无信息
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