[发明专利]用于大型活动区域的高速检测器的像素形状和分区形状选择

权利要求书

1.一种检测器，包括：

衬底，包括多个感测元件，所述多个感测元件包括第一感测元件和第二感测元件；以及

切换区域，被配置为连接所述第一感测元件和所述第二感测元件，其中至少所述第一感测元件被形成为三角形形状。

2.根据权利要求1所述的检测器，其中所述第一感测元件被配置为响应于所述第一感测元件检测到波束生成第一信号，并且所述第二感测元件被配置为响应于所述第二感测元件检测到所述波束生成第二信号。

3.根据权利要求2所述的检测器，其中所述三角形形状是等边三角形，并且所述波束是带电粒子束。

4.根据权利要求1所述的检测器，其中所述多个感测元件中的每个感测元件被形成为三角形形状。

5.根据权利要求1所述的检测器，其中所述切换区域在水平方向上设置在所述第一感测元件与所述第二感测元件之间，所述水平方向垂直于所述衬底的厚度方向。

6.根据权利要求1所述的检测器，还包括：

传感器管芯，包括所述衬底；以及

电路管芯，包括一个或多个电路。

7.根据权利要求6所述的检测器，其中所述一个或多个电路被配置为控制所述切换区域。

8.根据权利要求6所述的检测器，其中所述一个或多个电路包括多个电路系统，所述多个电路系统被配置为处理所述多个感测元件的输出。

9.根据权利要求1所述的检测器，其中所述第一感测元件和所述第二感测元件在横截面上是连续的。

10.根据权利要求1所述的检测器，其中所述切换区域与所述第一感测元件和所述第二感测元件是一体的。

11.根据权利要求1所述的检测器，其中所述衬底包括：

在厚度方向上的顶部金属层和底部金属层，所述顶部金属层被配置为检测表面，

其中在横截面上，在顶层与底层之间的整个区域是电荷载流子区。

12.一种检测系统，包括：

检测器阵列，包括具有三角形形状的多个感测元件；

多个分区，包括第一分区和第二分区，所述第一分区将所述多个感测元件中的第一组连接到第一输出，所述第二分区将所述多个感测元件中的第二组连接到第二输出；以及

接口。

13.根据权利要求12所述的检测系统，其中所述接口包括数字开关。

14.根据权利要求12所述的检测系统，其中所述多个分区包括布线路径和信号处理电路系统中的一个。

15.根据权利要求12所述的检测系统，还包括：

多个电路系统，被配置为处理所述多个感测元件的输出，其中所述多个电路系统中的第一电路系统连接到所述第一分区，并且所述多个电路系统中的第二电路系统连接到所述第二分区。