[发明专利]用于大型活动区域的高速检测器的像素形状和分区形状选择

说明书

公开了检测器和检测系统。根据某些实施例，一种检测器包括衬底，该衬底包括多个感测元件，该多个感测元件包括第一感测元件(402)和第二感测元件(403)，其中至少第一感测元件形成为三角形形状。检测器可以包括切换区域(4009A)，该切换区域配置为连接第一感测元件和第二感测元件。还可以提供多个分区，该多个分区包括将第一多个感测元件连接到第一输出的第一分区和将第二多个感测元件连接到第二输出的第二分区。该多个分区可以以六边形形状来设置。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2018年4月20日提交的美国申请62/660,765的优先权，其全部内容通过引用并入本文。

技术领域

本文中的描述涉及检测器，并且更具体地涉及可以应用于带电粒子检测的切换检测器阵列。

背景技术

检测器可以被用于感测物理上可观察到的现象。例如，电子显微镜可以包括检测器，该检测器收集从样品投射的带电粒子，并且输出检测信号。检测信号可以被用于重构受检样品结构的图像，并且可以被用于例如揭示样品中的缺陷。

在一些应用中，区域检测器可以包括电子感测元件的像素化阵列，电子感测元件可以检测投射在其上的一个或多个电子束。检测器可以包括活动区域，在该活动区域中响应于被带电粒子撞击而生成电流。在电子感测元件的像素化阵列中，可以提供有具有分离的活动区域的离散检测元件的网格。活动区域可以被隔离区域围绕，以将一个像素与相邻像素分离。

诸如在美国申请号62/555,032中讨论的检测器可以在感测元件之间设置有切换区域。在这种检测器中，可以减少死区并且可以增强检测性能。例如，相邻感测元件的侧面之间的隔离区域可以被消除，从而当多个感测元件被电子束斑覆盖时可以被合并。

然而，在一些检测器中，切换区域的数目可能取决于感测元件的形状。例如，方形感测元件可以被配置为在其四条边的每条边上与相邻感测元件连接。因此，四个切换区域可以围绕每个感测元件。

发明内容

本公开的实施例提供了用于提供检测器的系统和方法。在一些实施例中，提供了带电粒子束系统。带电粒子束系统可以包括检测器，该检测器被配置为检测在带电粒子束系统中所生成的带电粒子。

在一些实施例中，提供了一种检测器，该检测器包括衬底，该衬底包括多个感测元件，该多个感测元件包括第一感测元件和第二感测元件。检测器可以包括切换区域，该切换区域被配置为连接第一感测元件和第二感测元件。第一感测元件可以被配置为响应于第一感测元件检测到波束而生成第一信号，并且第二感测元件可以被配置为响应于第二感测元件检测到波束而生成第二信号。至少第一感测元件可以被形成为三角形形状。三角形形状可以是等边三角形。

根据一些实施例，可以实现一种布置，该布置减少相邻感测元件之间的开关数目、以及控制开关所需要的控制逻辑的数目。另外，感测元件的形状可以使得感测元件的分区能够形成为对应形状。具有特定形状的分区布置可以减少待被设置在电路管芯中的分区的总数。例如，提供三角形的感测元件和六边形的分区，可以提高检测系统的性能而不会引起检测系统的灵活性的损失。

所公开的实施例的其他目的和优点将在下面的描述中部分地阐述，并且根据该描述部分地将变得清楚，或者可以通过实施例的实践而获知。所公开的实施例的目的和优点可以通过本公开中阐述的要素和组合来实现和获取。然而，这种示例性目的和优点的实现不一定需要本公开的示例性实施例，并且一些实施例可以不实现陈述的目的和优点中的任何一个。

应当理解，前面的总体描述和下面的详细描述都仅仅是示例性和说明性的，并且不限制所要求保护的公开实施例。

附图说明

根据结合以下附图对示例性实施例的描述，本公开的以上和其他方面将变得更加清楚。