[发明专利]研磨用组合物及研磨方法有效
申请号: | 201980023577.5 | 申请日: | 2019-02-21 |
公开(公告)号: | CN111954705B | 公开(公告)日: | 2021-11-30 |
发明(设计)人: | 浅田真希;市坪大辉;丹所久典;土屋公亮 | 申请(专利权)人: | 福吉米株式会社 |
主分类号: | C09K3/14 | 分类号: | C09K3/14;H01L21/304;B24B37/04 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: |
本发明提供一种手段,其即使将研磨用组合物以浓缩液的状态长期间保管,也可以稳定地维持固定的研磨率。本发明为包含磨粒、碱性化合物、有机物和水的研磨用组合物,涉及通过下述式(1)测定的前述研磨用组合物的浓缩液的磨粒吸附参数不足15%的研磨用组合物,此处,C |
||
搜索关键词: | 研磨 组合 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于福吉米株式会社,未经福吉米株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201980023577.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:视频解码的方法和装置
- 下一篇:光学滤波器