[发明专利]研磨用组合物及研磨方法有效

专利信息
申请号: 201980023577.5 申请日: 2019-02-21
公开(公告)号: CN111954705B 公开(公告)日: 2021-11-30
发明(设计)人: 浅田真希;市坪大辉;丹所久典;土屋公亮 申请(专利权)人: 福吉米株式会社
主分类号: C09K3/14 分类号: C09K3/14;H01L21/304;B24B37/04
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人: 刘新宇;李茂家
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供一种手段,其即使将研磨用组合物以浓缩液的状态长期间保管,也可以稳定地维持固定的研磨率。本发明为包含磨粒、碱性化合物、有机物和水的研磨用组合物,涉及通过下述式(1)测定的前述研磨用组合物的浓缩液的磨粒吸附参数不足15%的研磨用组合物,此处,C0为前述研磨用组合物的浓缩液所包含的全部有机碳量(重量ppm),C1为对前述研磨用组合物的浓缩液进行离心分离处理而使前述磨粒沉淀,回收上清液,前述上清液所包含的全部有机碳量(重量ppm)。磨粒吸附参数(%)=[(C0‑C1×(100‑A/2.2)/100)/C0)]×100(1)。
搜索关键词: 研磨 组合 方法
【主权项】:
暂无信息
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