[发明专利]研磨用组合物及研磨方法

权利要求书

1.一种研磨用组合物，其包含磨粒、碱性化合物、有机物和水，

所述有机物包含水溶性高分子，

所述水溶性高分子包含具有羟基的高分子，

所述具有羟基的高分子包含不具有环状结构且具有氧化烯单元的高分子，且包含具有源自乙烯醇的结构单元的高分子及羟乙基纤维素中的至少一者，

所述具有氧化烯单元的高分子的含量与所述具有源自乙烯醇的结构单元的高分子及所述羟乙基纤维素的总量的重量比为1：5～1：7.5，

根据以下的条件测定的所述研磨用组合物的浓缩液的磨粒吸附参数不足15％：

(1)求出所述研磨用组合物的浓缩液所包含的、以重量ppm为单位的全部有机碳量C₀；

(2)对所述研磨用组合物的浓缩液进行离心分离处理而使所述磨粒沉淀，回收上清液，并求出所述上清液所包含的、以重量ppm为单位的全部有机碳量C₁；

(3)根据所述C₀、所述C₁及所述研磨用组合物的浓缩液所包含的、以重量％为单位的所述磨粒的含量A，通过下述式(1)算出磨粒吸附参数，

磨粒吸附参数(％)＝[(C₀-C₁×(100-A/2.2)/100)/C₀)]×100 (1)。

2.根据权利要求1所述的研磨用组合物，其中，相对于所述具有羟基的高分子的总量，所述具有氧化烯单元的高分子的含量为1重量％以上且20重量％以下。

3.根据权利要求1或2所述的研磨用组合物，其中，所述磨粒包含胶体二氧化硅。

4.一种研磨方法，其包括使用权利要求1～3中任一项所述的研磨用组合物对研磨对象物进行研磨。