[实用新型]一种MEMS器件有效
| 申请号： | 201922492528.6 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN211047220U | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 畠山庸平;林育菁 | 申请（专利权）人： | 潍坊歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;B81B7/02 |
| 代理公司： | 潍坊正信致远知识产权代理有限公司 37255 | 代理人： | 王秀芝 |
| 地址： | 261031 山东省潍坊市高新区新城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种MEMS器件，包括基板、MEMS芯片层和网格膜，所述基板具有第一表面和第二表面，所述基板上形成有贯通的第一通孔；所述MEMS芯片层设置在所述基板的第二表面的一侧；所述网格膜设置在所述基板的第一表面的一侧，所述网格膜在对应于所述第一通孔的位置处形成有透声区，所述透声区上分布有网孔。本实用新型的MEMS器件的所述基板在完成传统结构封装和信号传递的同时，起到了对所述网格膜很好的支撑作用，而且简化了所述MEMS器件的装配工艺和降低了制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 器件 | ||
【主权项】：
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