[实用新型]一种用于单晶样片的热处理防护装置有效
申请号: | 201922480281.6 | 申请日: | 2019-12-31 |
公开(公告)号: | CN211717183U | 公开(公告)日: | 2020-10-20 |
发明(设计)人: | 李睿;王淼;李仕权;常瑞新;娄中士;马飞;贾海洋;张强 | 申请(专利权)人: | 内蒙古中环领先半导体材料有限公司 |
主分类号: | F27D3/00 | 分类号: | F27D3/00;C30B33/02 |
代理公司: | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 栾志超 |
地址: | 010070 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于单晶样片的热处理防护装置,其用于将炉管内装有单晶样片的石英舟拉出,所述防护装置包括用于盛接石英舟的接舟盒以及用于牵引石英舟的牵引杆,接舟盒内侧底端均匀设置有滚动辊,所述石英舟的一端设置有U型杆,所述接舟盒的一端设置有开口,且接舟盒内侧底端均匀设置有滚动辊;本实用新型如此设置,从而可通过牵引杆将石英舟快速移至接舟盒上,不但避免人员肢体接触造成伤害,还能避免石英舟滑落,从而操作安全;此外,还能实现样片快速降温的要求,减少测试样片数据的偏差。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 样片 热处理 防护 装置 | ||
【主权项】:
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