[实用新型]一种用于单晶样片的热处理防护装置有效
申请号: | 201922480281.6 | 申请日: | 2019-12-31 |
公开(公告)号: | CN211717183U | 公开(公告)日: | 2020-10-20 |
发明(设计)人: | 李睿;王淼;李仕权;常瑞新;娄中士;马飞;贾海洋;张强 | 申请(专利权)人: | 内蒙古中环领先半导体材料有限公司 |
主分类号: | F27D3/00 | 分类号: | F27D3/00;C30B33/02 |
代理公司: | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 栾志超 |
地址: | 010070 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 样片 热处理 防护 装置 | ||
1.一种用于单晶样片的热处理防护装置,其用于将炉管(4)内装有单晶样片的石英舟(3)拉出,其特征在于,所述防护装置包括用于盛接石英舟的接舟盒(1)以及用于牵引石英舟的牵引杆(2);所述石英舟(3)的一端设置有U型杆(31),所述接舟盒(1)的一端设置有开口(11),且接舟盒(1)内侧底端均匀设置有滚动辊(12)。
2.根据权利要求1所述的一种用于单晶样片的热处理防护装置,其特征在于,所述牵引杆(2)包括固定杆(23)、旋转球(24)、固定管(26)、铰接杆(29)、扭簧(28)、弧形杆(210)、滑动套(212)、连接杆(211)、拉绳(22)以及拉环(21),所述固定杆(23)的内部设置有过绳腔(231),且过绳腔(231)一端的固定杆(23)上贯穿设置有旋转球卡槽(27),所述旋转球(24)卡设在旋转球卡槽(27)内部,所述旋转球(24)内部的中间位置处贯穿设置有通孔(25),所述通孔(25)远离过绳腔(231)一侧的旋转球(24)外侧壁设置有固定管(26),所述固定管(26)远离旋转球(24)一端的两侧皆设置凹槽(213),所述凹槽(213)的内部铰接有铰接杆(29),且铰接杆(29)的铰接轴上设有扭簧(28),所述铰接杆(29)远离固定管(26)的一端设置有弧形杆(210),所述弧形杆(210)与铰接杆(29)一体成型,所述铰接杆(29)上滑动套设有滑动套(212),两个所述滑动套(212)之间设置有连接杆(211),所述连接杆(211)靠近固定管(26)一侧的中间位置处固定连接有拉绳(22),所述拉绳(22)远离连接杆(211)的一端依次穿过固定管(26)内部、通孔(25)以及过绳腔(231)延伸至固定杆(23) 的一端固定连接有拉环(21)。
3.根据权利要求2所述的一种用于单晶样片的热处理防护装置,其特征在于,所述拉绳(22)的长度大于固定杆(23)、固定管(26)以及铰接杆(29)长度之和。
4.根据权利要求2至3任一项所述的一种用于单晶样片的热处理防护装置,其特征在于,所述旋转球卡槽(27)与旋转球(24)相互匹配,且旋转球(24)与旋转球卡槽(27)之间阻尼连接。
5.根据权利要求4所述的一种用于单晶样片的热处理防护装置,其特征在于,所述U型杆(31)横截面的直径小于两个所述弧形杆(210)之间的最大距离。
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