[实用新型]一种用于单晶样片的热处理防护装置

说明书

本实用新型公开了一种用于单晶样片的热处理防护装置，其用于将炉管内装有单晶样片的石英舟拉出，所述防护装置包括用于盛接石英舟的接舟盒以及用于牵引石英舟的牵引杆，接舟盒内侧底端均匀设置有滚动辊，所述石英舟的一端设置有U型杆，所述接舟盒的一端设置有开口，且接舟盒内侧底端均匀设置有滚动辊；本实用新型如此设置，从而可通过牵引杆将石英舟快速移至接舟盒上，不但避免人员肢体接触造成伤害，还能避免石英舟滑落，从而操作安全；此外，还能实现样片快速降温的要求，减少测试样片数据的偏差。

技术领域

本实用新型涉及热处理防护装置技术领域，具体的涉及一种用于单晶样片的热处理防护装置。

背景技术

石英舟又名石英玻璃，石英玻璃是以含二氧化硅物质，如水晶、硅石，其线膨胀系数的5.4*10,相当于普通玻璃的1/121/20，由于石英玻璃的热膨胀系数低，故热稳定性能特别好，透明石英玻璃的平均比热是0.251(0-900℃)热传导率是0.0035卡/厘米、秒、度(20℃)透明石英玻璃的变形点，退火点和工作温度。

现有技术中在使用石英舟装载单晶样片退火或者热氧化出炉结束后，需人工将载有已处理样片的石英舟手动拉出，而人工手动移动样片速度慢，影响样片降温速率，导致测试样片数据偏差大，同时人工手动操作容易造成烫伤，从而移动石英舟过程中，容易拿不稳，从而导致石英舟滑落摔裂，造成划伤事故。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于单晶样片的热处理防护装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为解决上述问题，本实用新型采取如下技术方案：

一种用于单晶样片的热处理防护装置，其用于将炉管内装有单晶样片的石英舟拉出，所述防护装置包括用于盛接石英舟的接舟盒以及用于牵引石英舟的牵引杆。

优选的，所述石英舟的一端设置有U型杆，所述接舟盒的一端设置有开口，且接舟盒内侧底端均匀设置有滚动辊。

优选的，所述牵引杆包括固定杆、旋转球、固定管、铰接杆、扭簧、弧形杆、滑动套、连接杆、拉绳以及拉环，所述固定杆的内部设置有过绳腔，且过绳腔一端的固定杆上贯穿设置有旋转球卡槽，所述旋转球卡设在旋转球卡槽内部，所述旋转球内部的中间位置处贯穿设置有通孔，所述通孔远离过绳腔一侧的旋转球外侧壁设置有固定管，所述固定管远离旋转球一端的两侧皆设置凹槽，所述凹槽的内部铰接有铰接杆，且铰接杆的铰接轴上设有扭簧，所述铰接杆远离固定管的一端设置有弧形杆，所述弧形杆与铰接杆一体成型，所述铰接杆上滑动套设有滑动套，两个所述滑动套之间设置有连接杆，所述连接杆靠近固定管一侧的中间位置处固定连接有拉绳，所述拉绳远离连接杆的一端依次穿过固定管内部、通孔以及过绳腔延伸至固定杆的一端固定连接有拉环。

优选的，所述拉绳的长度大于固定杆、固定管以及铰接杆长度之和。

优选的，所述旋转球卡槽与旋转球相互匹配，且旋转球与旋转球卡槽之间阻尼连接。

优选的，所述U型杆横截面的直径小于两个所述弧形杆之间的最大距离。

本实用新型的有益技术效果为；

1、通过牵引杆将石英舟移至接舟盒上，能避免人员肢体接触高温石英舟或单晶样片而造成烫伤，从而也不会因为烫伤而致使石英舟拿不稳而滑落摔裂，进而避免由此导致的石英舟碎片划伤操作人员，如此，操作更安全，杜绝生产安全隐患；

2、接舟盒内侧底端均匀设置有滚动辊，从而能将石英舟快速拉至接舟盒上，实现样片快速降温的工艺要求，减少测试样片数据偏差；

3、防护装置如此具体设置，从而当石英舟完全进入接舟盒内部时，牵引杆的固定杆可紧贴接舟盒开口处的对立面的内侧，如此，可进一步避免石英舟在牵引过程中滑落而摔裂，从而进一步提高生产是安全性，进一步杜绝生产安全隐患。

附图说明