[实用新型]一种用于基片定位且能够防止飞片的旋涂设备

摘要

本实用新型公开了一种用于基片定位且能够防止飞片的旋涂设备，包括真空吸盘、驱动装置、圆心定位托盘、托盘支架和基片，本实用新型结构简单，实用性强，真空吸盘和圆心为金属结构，在接触温度较高的基片和高压时不会变形，旋涂前使用圆心定位托盘定位圆心时，不接触基片表面，避免了污染和损坏基片，且提高了定位精度和稳定性，有利于胶层厚度的一致性和均匀性，其中气道组的结构，能够令真空吸附力分布更加均匀，且可以避免“飞片”现象的发生，旋涂完毕后，圆心定位托盘可从托盘支架上拆下，配合真空吸盘将旋涂好的基片转移进行下一步操作，避免了人工手动移动剐蹭基片边缘等失误。