[实用新型]一种用于基片定位且能够防止飞片的旋涂设备

权利要求书

1.一种用于基片定位且能够防止飞片的旋涂设备，其特征在于：包括真空吸盘(1)、驱动装置(2)、圆心定位托盘(3)、托盘支架(4)和基片(5)，所述真空吸盘(1)装配于驱动装置(2)上，所述真空吸盘(1)插接装配于圆心定位托盘(3)上，所述圆心定位托盘(3)装配于托盘支架(4)上；

所述真空吸盘(1)包括真空吸盘平面上层板(11)和真空吸盘平面下层板(13)，且真空吸盘平面上层板(11)一体成型于真空吸盘平面下层板(13)的上表面，所述真空吸盘平面上层板(11)的上侧壁固定装配有气道组(12)；所述真空吸盘平面上层板(11)的上侧壁均匀开设有真空孔(14)，且真空孔(14)与气道组(12)相连通，所述真空吸盘平面下层板(13)的下侧壁一体成型有底座(15)，所述底座(15)的下侧壁开设有定位卡槽(16)；

所述驱动装置(2)包括电机(21)，且电机(21)通过导线连接到外部电源，所述电机(21)的输出端固定安装有电机轴(22)，所述电机轴(22)的上端固定安装有定位螺栓(23)，且定位螺栓(23)螺接于定位卡槽(16)内；

所述圆心定位托盘(3)包括定位部(31)，所述定位部(31)的右侧壁固定安装有手柄(32)，所述手柄(32)的上侧壁右侧开设有定位孔(33)；

所述托盘支架(4)包括支柱(41)，所述支柱(41)的上侧壁固定安装有平板(42)，所述平板(42)的上侧壁前后对称固定安装有导轨(43)，所述导轨(43)的上侧壁均滑动装配有滑块(44)，所述滑块(44)的上侧壁固定安装有滑板(45)，所述滑块(44)的左侧壁滑动装配有定位支柱(46)，所述平板(42)的上侧壁开设有通槽(47)，且定位支柱(46)的下端贯穿通槽(47)。

2.根据权利要求1所述的一种用于基片定位且能够防止飞片的旋涂设备，其特征在于：所述气道组(12)包括环形气道(121)和直线型气道(122)，所述环形气道(121)固定安装于真空吸盘平面上层板(11)的上侧壁，且直线型气道(122)固定连通于环形气道(121)之间。

3.根据权利要求1所述的一种用于基片定位且能够防止飞片的旋涂设备，其特征在于：所述定位部(31)包括定位部上层(311)和定位部下层(312)，所述定位部上层(311)的直径与基片(5)的直径相同，且定位部下层(312)的直径与真空吸盘平面上层板(11)的直径相同。