[实用新型]一种实现平板和转盘处理的等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201922461980.6 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN211182150U | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 沈文凯;刘鑫培;王红卫 | 申请（专利权）人： | 苏州市奥普斯等离子体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京润川律师事务所 11643 | 代理人： | 张超 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种实现平板和转盘处理的等离子体处理装置，所述处理装置包括外壳组件和电极组件，所述电极组件设置于外壳组件内；其中，所述外壳组件用于获得等离子体处理的真空环境；所述电极组件用于制造等离子体，以实现等离子体处理；所述电极组件包括侧板、电极接头、电极板和转盘模组，电极板通过电极接头可拆卸的连接于外壳组件上，所述转盘模组设置于外壳组件内的底部。本实用新型在腔体内同时设置了两套等离子体处理装置，并通过电极接头方便电极板的拆卸和安装，进而实现了平板等离子处理和转盘等离子处理两种模式的转换。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实现 平板 转盘 处理 等离子体 装置 | ||
【主权项】：
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