[实用新型]一种实现平板和转盘处理的等离子体处理装置

权利要求书

1.一种实现平板和转盘处理的等离子体处理装置，其特征在于，所述处理装置包括外壳组件和电极组件，所述电极组件设置于外壳组件内；其中

所述外壳组件用于获得等离子体处理的真空环境；

所述电极组件用于制造等离子体，以实现等离子体处理；所述电极组件包括侧板(18)、电极接头、电极板(24)和转盘模组(21)；所述电极板(24)通过电极接头实现在外壳组件内的可拆卸连接。

2.根据权利要求1所述的一种实现平板和转盘处理的等离子体处理装置，其特征在于，所述外壳组件包括腔体(11)和前盖(12)；

所述腔体(11)为一面开口的腔体结构；所述前盖(12)设置于腔体(11)上，用于对腔体(11)的开口端进行密封和开启。

3.根据权利要求2所述的一种实现平板和转盘处理的等离子体处理装置，其特征在于，所述腔体(11)和前盖(12)之间设置有O型圈(17)，用于加强腔体(11)和前盖(12)之间的密封性。

4.根据权利要求2所述的一种实现平板和转盘处理的等离子体处理装置，其特征在于，所述前盖(12)上设置有视窗，用于工作人员对腔体(11)的待处理工件进行观察。

5.根据权利要求2所述的一种实现平板和转盘处理的等离子体处理装置，其特征在于，所述腔体(11)上设置有电机固定架(13)、支撑脚(14)、抽气孔(15)、电极接口(16)；

所述电机固定架(13)，设置于腔体(11)的底部，用于安装电机，为腔体(11)内的转盘模组提供动力；

所述支撑脚(14)，设置于腔体(11)的底部，用于对腔体进行调平；

所述抽气孔(15)，用于外接真空泵，营造腔体(11)内的真空环境；

所述电极接口(16)，用于外接电源，实现腔体(11)内电极的接电。

6.根据权利要求1所述的一种实现平板和转盘处理的等离子体处理装置，其特征在于，所述侧板(18)为两个，两侧板(18)分别固定设置于腔体(11)左右两侧壁的内侧，两侧板(18)的相同位置处间隔设置有三个导向固定槽(19)，以用来固定电极板(24)；

所述三个导向固定槽(19)自下而上依次为下固定槽、中固定槽和上固定槽。

7.根据权利要求6所述的一种实现平板和转盘处理的等离子体处理装置，其特征在于，所述电极接头包括两个负电极接头(22)和一个正电极接头(23)，三个电极接头自下而上依次固定于腔体(11)前侧板的内侧；其中，

两个负电极接头(22)分别对应于下固定槽和上固定槽，一个正电极接头(23)对应于中固定槽；所述正电极接头(23)连接于电极接口(16)，实现对正电极接头(23)的通电。

8.根据权利要求7所述的一种实现平板和转盘处理的等离子体处理装置，其特征在于，所述电极接头包括电极背板(231)、卡簧座(232)、转接片(233)和卡柱(234)；其中，

所述电极背板(231)，用于将电极接头固定于腔体(11)前侧板的内侧；

所述卡簧座(232)，设置于电极背板(231)的外侧；

所述转接片(233)，设置于卡簧座(232)的中间，所述转接片(233)通过卡簧座(232)的弹性实现上下位移和复位；

所述卡柱(234)，设置于转接片(233)末端的底面上，用于固定电极板(24)。

9.根据权利要求8所述的一种实现平板和转盘处理的等离子体处理装置，其特征在于，所述电极板(24)包括三个，三个电极板(24)分别沿导向固定槽(19)安装于两侧板(18)之间，且电极板(24)的末端分别固定于电极接头，与负电极接头(22)连接的电极板(24)成为负电极板，与正电极接头(23)连接的电极板(24)成为正电极板；

所述电极板(24)末端设置有与卡柱(234)相对应的孔，以实现电极板(24)与电极接头的固定。

10.根据权利要求1所述的一种实现平板和转盘处理的等离子体处理装置，其特征在于，所述转盘模组(21)设置于腔体(11)底部，连接于电机固定架(13)上的电机，用于对待处理工件进行旋转。