[实用新型]一种溅射靶材交变箱

摘要

本实用新型涉及一种溅射靶材交变箱，包括上箱体和下箱体、与上箱体转动连接的箱门、设置在上箱体内的置物台、设置在上箱体内壁上的出风口和传感器、设置在下箱体内的温度控制系统，温度控制系统包括温度调节开关、时间控制开关、与温度调节开关和时间控制开关均连接的处理器、与处理器连接的调温器和显示屏、与调温器连接的风道，传感器也连接处理器，温度调节开关、时间控制开关和显示屏均设置在下箱体的外壁上，处理器和调温器均设置在下箱体内，风道的出风口设置在上箱体内。本装置温度范围为‑70摄氏度至700摄氏度，温度范围大，便于高低温交错形成符合要求的溅射靶材产品，并夹紧溅射靶材，防止掉落。