[实用新型]一种溅射靶材交变箱

权利要求书

1.一种溅射靶材交变箱，其特征在于：包括上下设置的上箱体（1）和下箱体（2）、与上箱体（1）转动连接的箱门（3）、设置在上箱体（1）内的置物台、设置在上箱体（1）内壁上的出风口（5）和传感器（7）、设置在下箱体（2）内的温度控制系统，温度控制系统包括温度调节开关（41）、时间控制开关（42）、与温度调节开关（41）和时间控制开关（42）均连接的处理器（44）、与处理器（44）连接的调温器（45）和显示屏（46）、与调温器（45）连接的风道，传感器（7）也连接处理器（44），温度调节开关（41）、时间控制开关（42）和显示屏（46）均设置在下箱体（2）的外壁上，处理器（44）和调温器（45）均设置在下箱体（2）内，风道的出风口（5）设置在上箱体（1）内；

上箱体内的置物台为架体式结构，置物台包括设置在上箱体（1）内的支架（61）、间隔设置在支架（61）上的若干支撑块（62）、设置在上下左右相邻的四个支撑块（62）所形成的空腔内的置物板（63）、设置在每个置物板（63）上的若干供溅射靶材放置的置物槽（64），每个置物槽（64）的内缘还设有防护垫圈。

2.根据权利要求1所述的一种溅射靶材交变箱，其特征在于：置物槽（64）的形状大小不一，位于同一层置物台上的置物槽（64）的形状相同但大小不同，位于非同一层置物台上的置物槽（64）的形状不同。

3.根据权利要求2所述的一种溅射靶材交变箱，其特征在于：所有支撑块（62）的上表面和下表面上均设置有夹紧装置，夹紧装置包括设置在支撑块（62）上表面和下表面上的转轴（65）、与转轴（65）转动连接的夹紧体（66）、设置在夹紧体（66）所在的支撑块（62）内的回弹腔（67）、设置在回弹腔（67）内并与夹紧体（66）连接的回弹体（68），回弹腔（67）位于夹紧体（66）的下方或上方。

4.根据权利要求3所述的一种溅射靶材交变箱，其特征在于：回弹体（68）为回弹卡钉或弹簧，相邻的夹紧体（66）上下对应。

5.根据权利要求4所述的一种溅射靶材交变箱，其特征在于：防护垫圈为橡胶防护垫圈。

6.根据权利要求5所述的一种溅射靶材交变箱，其特征在于：调温器（45）为压缩机，传感器（7）采用光电隔离型485的接口输出。

7.根据权利要求6所述的一种溅射靶材交变箱，其特征在于：显示屏（46）为LED屏。