[实用新型]用于真空镀膜机中蒸镀测量电极和保护电极的样品夹具

摘要

用于真空镀膜机中蒸镀测量电极和保护电极的样品夹具，涉及一种样品夹具。为了解决现有的绝缘材料进行电阻率测量时，采用的夹具需要进行二次蒸镀，导致绝缘材料电阻率测量准确度低的问题。夹具由夹具上板、夹具下板、软磁体和电磁铁构成；夹具下板中心设置有圆形通孔，软磁体为环形，软磁体设置在夹具下板中的圆形通孔内；夹具上板和夹具下板通过螺栓连接，夹具上板的上表面与软磁体对应的环形区域内设置有两个圆形盲孔，每个圆形盲孔内设置有一个电磁铁。本实用新型夹具仅需要一次蒸镀便能完成测量电极和保护电极的蒸镀，节省时间效率高，并且蒸镀得到的测量电极和保护电极均匀一致、形状规则。本实用新型适用于测量电极和保护电极的蒸镀。