[实用新型]用于真空镀膜机中蒸镀测量电极和保护电极的样品夹具

权利要求书

1.一种用于真空镀膜机中蒸镀测量电极和保护电极的样品夹具，其特征在于：该样品夹具由夹具上板(1)、夹具下板(2)、软磁体(3)和电磁铁(4)构成；

所述夹具上板(1)和夹具下板(2)为矩形平板，夹具下板(2)中心设置有圆形通孔，软磁体(3)为环形，软磁体(3)的外径小于夹具下板(2)中圆形通孔的内径，软磁体(3)设置在夹具下板(2)中的圆形通孔内、且软磁体(3)的中心与夹具下板(2)的圆形通孔的中心重合；夹具上板(1)和夹具下板(2)通过四角处设置的螺栓连接，夹具上板(1)的上表面与软磁体(3)对应的环形区域内设置有两个圆形盲孔，每个圆形盲孔内设置有一个电磁铁(4)。

2.根据权利要求1所述的用于真空镀膜机中蒸镀测量电极和保护电极的样品夹具，其特征在于：所述电磁铁(4)为直流电磁铁，两个圆形盲孔内的电磁铁(4)的磁极方向相同。

3.根据权利要求1所述的用于真空镀膜机中蒸镀测量电极和保护电极的样品夹具，其特征在于：所述软磁体(3)的材质为铁硅合金。

4.根据权利要求1所述的用于真空镀膜机中蒸镀测量电极和保护电极的样品夹具，其特征在于：所述软磁体(3)的截面为矩形。

5.根据权利要求1所述的用于真空镀膜机中蒸镀测量电极和保护电极的样品夹具，其特征在于：所述夹具上板(1)和夹具下板(2)为铝板。

6.根据权利要求1所述的用于真空镀膜机中蒸镀测量电极和保护电极的样品夹具，其特征在于：所述夹具上板(1)和夹具下板(2)的尺寸相同。

7.根据权利要求1所述的用于真空镀膜机中蒸镀测量电极和保护电极的样品夹具，其特征在于：所述两个圆形盲孔对称设置在夹具上板(1)中心两侧。