[实用新型]用于真空镀膜机中蒸镀测量电极和保护电极的样品夹具

说明书

用于真空镀膜机中蒸镀测量电极和保护电极的样品夹具，涉及一种样品夹具。为了解决现有的绝缘材料进行电阻率测量时，采用的夹具需要进行二次蒸镀，导致绝缘材料电阻率测量准确度低的问题。夹具由夹具上板、夹具下板、软磁体和电磁铁构成；夹具下板中心设置有圆形通孔，软磁体为环形，软磁体设置在夹具下板中的圆形通孔内；夹具上板和夹具下板通过螺栓连接，夹具上板的上表面与软磁体对应的环形区域内设置有两个圆形盲孔，每个圆形盲孔内设置有一个电磁铁。本实用新型夹具仅需要一次蒸镀便能完成测量电极和保护电极的蒸镀，节省时间效率高，并且蒸镀得到的测量电极和保护电极均匀一致、形状规则。本实用新型适用于测量电极和保护电极的蒸镀。

技术领域

本实用新型涉及一种样品夹具。

背景技术

在对绝缘材料进行电阻率测量时，由于绝缘材料的电阻很大，因此需要向样品施加高电压，施加的高电压除了在样品体内形成传导电流外，还会沿样品表面形成表面电流。因此，在采集流经绝缘材料的电流信号时，必须将表面电流屏蔽掉，仅保留样品体内电流信号。为此测试绝缘材料电阻率时采用三电极结构。三电极包括高压电极、测量电极和保护电极，其中高压电极在样品的一侧，测量电极和保护电极在另一侧。测量电极为圆形结构，保护电极为圆环形结构，保护电极内径大于测量电极的外径，测量电极和保护电极同心设置，保护电极包围在测量电极周围后，这样表面电流就无法进入测量电极，保证了测量电极仅采集样品体内电流信号。

测量电极和保护电极在绝缘材料样品表面的制备通过表面蒸镀完成，采用的装置为真空镀膜机。测量电极和保护电极蒸镀时采用的夹具如图1和图2所示，图2中a1为上板，a2为下板，a3为片状样品，上板和下板在边缘处通过螺栓连接实现对片状绝缘材料样品的夹持；图1中，下板中心为圆形镂空区，圆形镂空区中设置有环形挡片b，环形挡片b 中心为圆形的测量电极形成区e，环形挡片b之外的圆环形镂空区为保护电极形成区d，环形挡片b和下板之间通过两个对称的连接片c连接；进行蒸镀时如图1和图2所示夹具存在的问题是：在电极蒸镀时连接片c的阻挡下无法形成完整的保护电极，需要将样品旋转后进行二次蒸镀，才能形成完整的环形的保护电极。二次蒸镀需要重新构建真空环境，浪费了大量的时间与资源，并且旋转样品时往往会因样品偏离圆心，使最终镀上的保护极和测量极形状不规则，降低了测量的准确度。

实用新型内容

本实用新型为了解决现有的绝缘材料进行电阻率测量时，采用的夹具需要进行二次蒸镀，进而导致绝缘材料电阻率测量准确度低的问题，提出一种用于真空镀膜机中蒸镀测量电极和保护电极的样品夹具。

本实用新型用于真空镀膜机中蒸镀测量电极和保护电极的样品夹具由夹具上板、夹具下板、软磁体和电磁铁构成；

所述夹具上板和夹具下板为矩形平板，夹具下板中心设置有圆形通孔，软磁体为环形，软磁体的外径小于夹具下板中圆形通孔的内径，软磁体设置在夹具下板中的圆形通孔内、且软磁体的中心与夹具下板的圆形通孔的中心重合；夹具上板和夹具下板通过四角处设置的螺栓连接，夹具上板的上表面与软磁体对应的环形区域内设置有两个圆形盲孔，每个圆形盲孔内设置有一个电磁铁。

本实用新型原理及有益效果为：

本实用新型样品夹具使用时，将片状的绝缘材料放置在夹具上板和夹具下板之间并用螺栓锁紧，将两个圆形盲孔内的电磁铁通入直流电源后，电磁铁产生磁力，然后将软磁体放置在夹具下板中心的圆形通孔内，此时软磁体被磁化且与电磁铁相互吸引，软磁体与绝缘材料表面紧贴。将组装后的夹具置于真空镀膜机中进行蒸镀，蒸镀后片状的绝缘材料中未被夹具下板和软磁体遮盖的区域内形成圆形的测量电极和圆环形的保护电极。最后将组装后的夹具取出，断开电磁铁的电源，此时软磁体退磁并且自动脱落，因此不会在拆卸过程中破坏形成的测量电极和保护电极。本实用新型夹具仅需要一次蒸镀便能完成测量电极和保护电极的蒸镀，节省时间效率高，并且蒸镀得到的测量电极和保护电极均匀一致、形状规则。

附图说明

图1为现有的测量电极和保护电极蒸镀时采用的夹具的结构示意图；