[实用新型]一种离子源挡板有效
| 申请号： | 201922430509.0 | 申请日： | 2019-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN211713187U | 公开（公告）日： | 2020-10-20 |
| 发明（设计）人： | 安建昊;唐欢欢 | 申请（专利权）人： | 江苏普拉斯玛机械有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 225000 江苏省扬*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种离子源挡板，包括底板，底板上方设有不锈钢板，不锈钢板中部为空腔且两侧沿不锈钢板高度开设有滑道，滑道内插设有挡板，不锈钢板的一侧固接有连接块，连接块的下端伸入底板一侧贯穿的通槽内，通槽沿底板长度方向开设，连接块的下端一侧插接有穿过底板侧壁的旋转轴，旋转轴与气动阀机械连接。本实用新型可阻止离子源受到靶材的污染，提高生产效率和保证产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子源 挡板 | ||
【主权项】：
暂无信息
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