[实用新型]一种离子源挡板有效
| 申请号： | 201922430509.0 | 申请日： | 2019-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN211713187U | 公开（公告）日： | 2020-10-20 |
| 发明（设计）人： | 安建昊;唐欢欢 | 申请（专利权）人： | 江苏普拉斯玛机械有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 225000 江苏省扬*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 离子源 挡板 | ||
【权利要求书】：
1.一种离子源挡板，其特征在于：包括底板(1)，所述底板(1)上方设有不锈钢板(2)，所述不锈钢板(2)中部为空腔且两侧沿所述不锈钢板(2)高度开设有滑道(8)，所述滑道(8)内插设有挡板(9)，所述不锈钢板(2)的一侧固接有连接块(3)，所述连接块(3)的下端伸入所述底板(1)一侧贯穿的通槽(4)内，所述通槽(4)沿所述底板(1)长度方向开设，所述连接块(3)的下端一侧插接有穿过所述底板(1)侧壁的旋转轴(5)，所述旋转轴(5)与气动阀(6)机械连接。
2.根据权利要求1所述的一种离子源挡板，其特征在于：所述连接块(3)为“L”型。
3.根据权利要求1所述的一种离子源挡板，其特征在于：所述挡板(9)为不锈钢板。
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