[实用新型]一种适用于大尺寸硅片的水平石英舟

摘要

本实用新型涉及一种适用于大尺寸硅片的水平石英舟。它包括有两片平行间隔设置的侧板，两片侧板之间还设有若干片相互等间距分布的支撑肋板，两片侧板的上下侧分别固接有顶部支撑棒和底部支撑棒，同时支撑肋板的上下侧也与顶部支撑棒、底部支撑棒固接，所述两侧板和支撑肋板的中部区域为镂空设置，两侧板的内侧壁和支撑肋板两侧壁上除去镂空区域均设有若干条水平等间距分布的石英舟开槽。由于两侧板和支撑肋板的中部区域为镂空设置，硅片的四周均可与磷源充分接触，因此本实用新型的磷扩散的均匀性较好，同时侧板与支撑肋板的上下侧固定有起到加强作用的顶部支撑棒和底部支撑棒，整体的承载能力得到提升。