[实用新型]一种适用于大尺寸硅片的水平石英舟

说明书

本实用新型涉及一种适用于大尺寸硅片的水平石英舟。它包括有两片平行间隔设置的侧板，两片侧板之间还设有若干片相互等间距分布的支撑肋板，两片侧板的上下侧分别固接有顶部支撑棒和底部支撑棒，同时支撑肋板的上下侧也与顶部支撑棒、底部支撑棒固接，所述两侧板和支撑肋板的中部区域为镂空设置，两侧板的内侧壁和支撑肋板两侧壁上除去镂空区域均设有若干条水平等间距分布的石英舟开槽。由于两侧板和支撑肋板的中部区域为镂空设置，硅片的四周均可与磷源充分接触，因此本实用新型的磷扩散的均匀性较好，同时侧板与支撑肋板的上下侧固定有起到加强作用的顶部支撑棒和底部支撑棒，整体的承载能力得到提升。

技术领域

本实用新型涉及一种石英舟，尤其是涉及一种适用于大尺寸硅片的水平石英舟。

背景技术

石英舟广泛应用于光伏电池的生产行业中，它是一种用于盛放硅电池片的支架，并且应用与硅电池片磷扩散的工序中。石英舟整体由石英玻璃制成，因此整体强度较脆，易断裂，不适合承载较重的物体。而目前采用大尺寸硅片降低电池成本已成为趋势，由于大尺寸硅片较重，常规石英舟采用菱形插片及垂直插片导致中间部易断裂，且目前这种方法磷扩散的均匀性较差。

发明内容

本实用新型提供了一种适用于大尺寸硅片的水平石英舟；解决现有技术中存在承重能力较差且磷扩散的均匀性较差的问题。

本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：一种适用于大尺寸硅片的水平石英舟，其特征在于：包括有两片平行间隔设置的侧板，两片侧板之间还设有若干片相互等间距分布的支撑肋板，两片侧板的上下侧分别固接有顶部支撑棒和底部支撑棒，同时支撑肋板的上下侧也与顶部支撑棒、底部支撑棒固接，所述两侧板和支撑肋板的中部区域为镂空设置，两侧板的内侧壁和支撑肋板两侧壁上除去镂空区域均设有若干条水平等间距分布的石英舟开槽，所述两片侧板的外侧壁上设有两根等高等长的抓取杆。侧板与支撑肋板、支撑肋板与支撑肋板之间的间距以实际承载的硅片尺寸为准。硅片的两端可以水平的摆放在石英舟开槽上，也可以倾斜一定角度。由于两侧板和支撑肋板的中部区域为镂空设置，硅片的四周均可与磷源充分接触，因此本实用新型的磷扩散的均匀性较好，同时侧板与支撑肋板的上下侧固定有起到加强作用的顶部支撑棒和底部支撑棒，整体的承载能力得到提升。

本实用新型主要用于承载的硅片包含160mm*160mm到230mm*230mm直角或倒角硅片。

作为优选，所述石英舟开槽的开口为扩口设置，开口的宽度为大于石英舟开槽底部的宽度，这样硅片更易于插入。

作为优选，两片侧板的底部均设有两个支撑脚，支撑脚的厚度为大于底部支撑棒的厚度。通过四个支撑脚来支撑起整个石英舟，保证稳定性。

作为优选，所述底部支撑棒设有一根且位于侧板底部的中部。

作为优选，顶部支撑棒设有两根且关于侧板顶部左右对称设置。

作为优选，所述相邻石英舟开槽的间距为2至4mm。相邻石英舟开槽的间距决定硅片之间的间距，硅片之间的间距过小会影响磷扩散的均匀性，而间距过大则会降低本实用新型的承重数量。

因此，本实用新型相比现有技术具有以下特点：1.侧板与支撑肋板的上下侧固定有起到加强作用的顶部支撑棒和底部支撑棒，整体的承载能力得到提升；2.由于两侧板和支撑肋板的中部区域为镂空设置，硅片的四周均可与磷源充分接触，磷扩散的均匀性较好。

附图说明

附图1是本实用新型的一种结构示意图；

附图2是本实用新型放上硅片后的一种侧视图；

附图3是附图2的A部放大图。

具体实施方式

下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步具体的说明。