[实用新型]一种用于石英晶体谐振器热处理的制氮系统有效
| 申请号： | 201922422436.0 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN211018775U | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 谢尚平;吴延剑 | 申请（专利权）人： | 珠海东精大电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;G05D27/02;C01B21/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 519000 广东省珠海市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种氮气纯度高和氮气输出压力稳定的用于石英晶体谐振器热处理的制氮系统。本实用新型包括依次相连接的的空压机、第一储气罐、冷干机、微热再生吸干机、第二储气罐、制氮组件、氮气储气罐组件和烤胶炉，烤胶炉内铺设有若干个石英晶体，氮气储气罐组件包括第一氮气储气罐和第二氮气储气罐，第二氮气储气罐与第一氮气储气罐之间为串联连接，第一氮气储气罐和第二氮气储气罐均与烤胶炉相连接，且第一氮气储气罐与烤胶炉之间和第二氮气储气罐与烤胶炉之间均设置有流量计。本实用新型应用于制氮系统的技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 石英 晶体 谐振器 热处理 系统 | ||
【主权项】：
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