[实用新型]一种用于石英晶体谐振器热处理的制氮系统

说明书

本实用新型公开了一种氮气纯度高和氮气输出压力稳定的用于石英晶体谐振器热处理的制氮系统。本实用新型包括依次相连接的的空压机、第一储气罐、冷干机、微热再生吸干机、第二储气罐、制氮组件、氮气储气罐组件和烤胶炉，烤胶炉内铺设有若干个石英晶体，氮气储气罐组件包括第一氮气储气罐和第二氮气储气罐，第二氮气储气罐与第一氮气储气罐之间为串联连接，第一氮气储气罐和第二氮气储气罐均与烤胶炉相连接，且第一氮气储气罐与烤胶炉之间和第二氮气储气罐与烤胶炉之间均设置有流量计。本实用新型应用于制氮系统的技术领域。

技术领域

本实用新型涉及一种制氮系统,特别涉及一种用于石英晶体谐振器热处理的制氮系统。

背景技术

目前石英晶体谐振器热处理的制氮设备是由空压机产气、干燥空压气送入自动制氮机，自动制氮机是有A塔和B塔切换再生制氮，在A塔工作时、空压气由A塔阀门下端气体通过分子筛制造纯氮经管路连接储气罐，制氮运行时间为3分钟，进行切换关闭A塔阀门，再由B塔阀门下端气体通过分子筛制造纯氮经管路连接储气罐，制氮运行时间为3分钟，AB塔重复交换制氮、制氮机每小时产气150方，由管路联接储气罐，可进行调节输出气量到用气设备。由于用氮气端流量较大，而现状是烤胶炉气压压力偏低,一个3方储气罐输出气压是通过一组满程为每小时150方流量计输出，实际上流量计输出每小时只有70方，使得烤胶炉氮气压在0.15-0.19MPA之间，而烤胶炉氮气压正常工作时需要大于0.3MPA才能符合要求。供应石英晶体谐振器热处理设备为烤胶炉石英晶体谐振器高温280度炉膛经过，且需要纯氮气对烤胶炉炉膛进行充注80PPM以下纯度的氮气，且氮气压大于0.3MPA压力，才能确保石英晶体谐振器、晶片表面银层作电极，但在现有设备上由于氮气压力不稳定，容易出现波动，对烤胶炉炉膛流注的氮气难以确保纯度及压力情况下，导致烤胶炉炉膛内的石英晶体谐振器、晶片表面银层作电极氧化，使合格率下降,如果纯度及压力长时间未能得到恢复，甚至总个烤胶炉炉膛内的石英晶体谐振器报废。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供了一种氮气纯度高和氮气输出压力稳定的用于石英晶体谐振器热处理的制氮系统。

本实用新型所采用的技术方案是：本实用新型包括依次相连接的的空压机、第一储气罐、冷干机、微热再生吸干机、第二储气罐、制氮组件、氮气储气罐组件和烤胶炉，所述烤胶炉内铺设有若干个石英晶体，所述制氮组件包括A塔自动制氮机和B塔自动制氮机，所述A塔自动制氮机和所述B塔自动制氮机之间并联连接，所述第二储气罐与所述A塔自动制氮机之间和所述第二储气罐与所述B塔自动制氮机之间均设置有第一电动阀门，所述氮气储气罐组件包括第一氮气储气罐和第二氮气储气罐，所述第二氮气储气罐与所述第一氮气储气罐之间为串联连接，所述第一氮气储气罐和所述第二氮气储气罐均与所述烤胶炉相连接，且所述第一氮气储气罐与所述烤胶炉之间和所述第二氮气储气罐与所述烤胶炉之间均设置有流量计。

进一步的，所述制氮系统还包括MCU控制器，所述MCU控制器均与所述空压机、所述第一储气罐、所述冷干机、所述微热再生吸干机、所述第二储气罐、所述制氮组件、所述氮气储气罐组件和烤胶炉电性连接。

进一步的，所述第一氮气储气罐和所述第二氮气储气罐容积均为3立方。

进一步的，所述流量计为玻璃转子流量计，所述玻璃转子流量计的满程为每小时150立方。

进一步的，所述第一氮气储气罐与所述A塔自动制氮机之间和所述第一氮气储气罐与所述B塔自动制氮机之间均设置有第二电动阀门。

进一步的，所述烤胶炉内设置有压力检测器，所述压力检测器与所述MCU控制器电性连接。