[实用新型]一种用于石英晶体谐振器热处理的制氮系统有效
| 申请号： | 201922422436.0 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN211018775U | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 谢尚平;吴延剑 | 申请（专利权）人： | 珠海东精大电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;G05D27/02;C01B21/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 519000 广东省珠海市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 石英 晶体 谐振器 热处理 系统 | ||
1.一种用于石英晶体谐振器热处理的制氮系统，其特征在于：它包括依次相连接的空压机（1）、第一储气罐（2）、冷干机（3）、微热再生吸干机（4）、第二储气罐（5）、制氮组件（6）、氮气储气罐组件（7）和烤胶炉（8），所述烤胶炉（8）内铺设有若干个石英晶体，所述制氮组件（6）包括A塔自动制氮机（61）和B塔自动制氮机（62），所述A塔自动制氮机（61）和所述B塔自动制氮机（62）之间并联连接，所述第二储气罐（5）与所述A塔自动制氮机（61）之间和所述第二储气罐（5）与所述B塔自动制氮机（62）之间均设置有第一电动阀门（63），所述氮气储气罐组件（7）包括第一氮气储气罐（71）和第二氮气储气罐（72），所述第二氮气储气罐（72）与所述第一氮气储气罐（71）之间为串联连接，所述第一氮气储气罐（71）和所述第二氮气储气罐（72）均与所述烤胶炉（8）相连接，且所述第一氮气储气罐（71）与所述烤胶炉（8）之间和所述第二氮气储气罐（72）与所述烤胶炉（8）之间均设置有流量计（73）。
2.根据权利要求1所述的一种用于石英晶体谐振器热处理的制氮系统，其特征在于：所述制氮系统还包括MCU控制器，所述MCU控制器均与所述空压机（1）、所述第一储气罐（2）、所述冷干机（3）、所述微热再生吸干机（4）、所述第二储气罐（5）、所述制氮组件（6）、所述氮气储气罐组件（7）和烤胶炉（8）电性连接。
3.根据权利要求1所述的一种用于石英晶体谐振器热处理的制氮系统，其特征在于：所述第一氮气储气罐（71）和所述第二氮气储气罐（72）容积均为3立方。
4.根据权利要求2所述的一种用于石英晶体谐振器热处理的制氮系统，其特征在于：所述流量计（73）为玻璃转子流量计，所述玻璃转子流量计的满程为每小时150立方。
5.根据权利要求1所述的一种用于石英晶体谐振器热处理的制氮系统，其特征在于：所述第一氮气储气罐（71）与所述A塔自动制氮机（61）之间和所述第一氮气储气罐（71）与所述B塔自动制氮机（62）之间均设置有第二电动阀门（64）。
6.根据权利要求2所述的一种用于石英晶体谐振器热处理的制氮系统，其特征在于：所述烤胶炉（8）内设置有压力检测器，所述压力检测器与所述MCU控制器电性连接。
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